ProX 飛納電子顯微鏡是一種利用電子束來(lái)觀察和分析微觀世界的高精度儀器，它突破了光學(xué)顯微鏡的分辨率極限，核心原理基于電子光學(xué)，與光學(xué)顯微鏡使用可見(jiàn)光不同，以電子束作為光源。電子具有波粒二象性，其波長(zhǎng)比可見(jiàn)光短得多，這使得它能夠?qū)崿F(xiàn)更高的分辨率。
電子透鏡是ProX 飛納電子顯微鏡的主要功能之一，它用于對(duì)電子束進(jìn)行聚焦和成像。電子透鏡利用磁場(chǎng)或電場(chǎng)對(duì)電子產(chǎn)生作用，使電子束發(fā)生折射，從而實(shí)現(xiàn)類似光學(xué)透鏡對(duì)光線的聚焦效果。通過(guò)多級(jí)電子透鏡的組合，可以對(duì)電子束進(jìn)行精細(xì)的控制，將樣品的細(xì)節(jié)清晰地呈現(xiàn)出來(lái)。
檢定是通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)樣品或計(jì)量工具對(duì)ProX 飛納電子顯微鏡的性能參數(shù)進(jìn)行檢測(cè)和驗(yàn)證，判斷其是否符合技術(shù)要求。常見(jiàn)檢定項(xiàng)目包括：
1.放大倍數(shù)誤差與重復(fù)性
-標(biāo)準(zhǔn)樣品：使用已知尺寸的標(biāo)準(zhǔn)樣品(如金球、光柵刻線等)，通過(guò)測(cè)量圖像中的標(biāo)尺與實(shí)際尺寸的比值，計(jì)算放大倍數(shù)誤差。
-重復(fù)性檢測(cè)：多次測(cè)量同一標(biāo)準(zhǔn)樣品，驗(yàn)證放大倍數(shù)的穩(wěn)定性。
2.圖像線性失真度
-XY方向線性檢測(cè)：拍攝帶有規(guī)則幾何圖形(如網(wǎng)格)的標(biāo)準(zhǔn)樣品，分析圖像是否出現(xiàn)拉伸、扭曲等變形。
3.分辨率驗(yàn)證
-透射電鏡(TEM)：使用晶格條紋或已知晶面間距的樣品(如石墨)，觀察是否能清晰分辨原子尺度結(jié)構(gòu)。
-掃描電鏡(SEM)：通過(guò)高對(duì)比度樣品(如金顆粒)檢測(cè)二次電子像的分辨率。
4.電子束對(duì)準(zhǔn)與穩(wěn)定性
-檢查電子束是否垂直入射樣品表面，避免因傾斜導(dǎo)致圖像畸變。
