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 　　全自動掃描電鏡具有全自動操作、15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點，適用于傳統大電鏡待測樣品的快速篩選，也適合于光學顯微鏡的分辨率無法滿足需求的客戶。一臺通用的高性能場發射掃描電子顯微鏡，具有全自動控制的無油旋轉泵+分子泵+離子泵的抽真空系統、具有的GEMINI鏡筒技術的電子光學系統、超大樣品室和五軸馬達驅動優中心樣品臺。